臭氧脫硫脫硝一體化的影響因素主要有四點，這四點分別是摩爾比、反應溫度、反應時間、吸收液性質，這些因素對脫硝和脫硫效率都有不同程度的影響。下面對以上四點因素詳細了解。
　　1.摩爾比：摩爾比（O3/NO）是指O3與NO之間摩爾數的比值，反映臭氧量相對于一氧化氮量的高低。NO的氧化率隨O3/NO.的升高直線上升。
　　2.溫度：由于臭氧的生存周期關系到脫硫脫硝效率的高低，所以考察臭氧對溫度的敏感性具有重要意義。對臭氧的熱分解特性的研究中得出在150℃的低溫條件下，臭氧的分解率不高，但隨著溫度增加到250℃甚至更高時，臭氧脫硫脫硝一體化分解速度明顯加快。
　　3.反應時間：臭氧在煙氣中的停留時間只要能夠保證氧化反應的完成即可，主要是因為關鍵反應的反應平衡在很短時間內即可達到，不需要較長的臭氧停留時間。
　　4.吸收液性質：利用臭氧將NO氧化為高價態的氮氧化物后，需要進一步地吸收。常見的吸收液有Ca（OH）2、NaOH.等堿液。不同的吸收劑產生的脫除效果會有一定的差異。
　　以上四點就是臭氧脫硫脫硝一體化臭氧脫硫脫硝一體化的影響因素，在實際操作中還有一些其他的因素，也希望大家能注意，如有煙氣除塵方面的需要，歡迎致電聯系。